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9月16日，科创半导体设备ETF鹏华基金（589020）最新份额为43.28亿份，较前一交易日增加了4000.0万份。当日资金净流入3.21亿元（资金流向是当日计算的资产净值和上一交易日计算的资产净值相减得出的），最新资产净值计算值为51.33亿元。该基金近一周净值上涨6.67%，近一个月净值下跌4.49%。

科创半导体设备ETF鹏华基金成立于2025年8月27日，基金经理为林嵩，基金跟踪标的为上证科创板半导体材料设备主题指数，成立以来超额回报为-3.55%，近一个月超额回报为-0.04%。最新披露的基金持仓数据显示，截止2026年6月30日，该基金第一大重仓股为华海清科（688120），持股占比为10.54%。

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